GenesisGEO Lite关键升级:
1. 整机小型化设计
结构更为紧凑,显著节省实验室空间,便于搬运与灵活部署,操作界面符合人体工程学原理。相比前代GenesisGEO系统,GenesisGEO Lite整体体积缩减15%,可轻松通过标准实验室门宽(≥90cm)。前置仰角式触控操作面板采用21.5英寸高清工业显示屏,界面布局遵循人体工程学原理。

2. 光路系统优化
系统光学路径经过重新设计与精密调校,实现以下性能提升:
剥蚀坑锥度优化:有效减小剥蚀坑锥度,改善深度分辨率。
微区分析能力:支持 1 μm 极小光斑直径,满足高空间分辨率采样需求。
焦点容差提升:降低对样品表面平整度的敏感度,即使在略有起伏的样品表面也能保持稳定的剥蚀效率与信号强度,提升数据重复性。
3. 仓体流场重构
样品仓内部气流场经过计算流体力学(CFD)模拟优化,确保剥蚀环境稳定、洁净。

4. 快拆式双体积剥蚀池
创新采用快拆式剥蚀池设计,配备两种不同功能的剥蚀池模块:
快速切换机制:无需复杂工具即可在数秒内完成剥蚀池更换。
双模式适配:分析池适用于高精度定量分析,成像池适用于大面积成像扫描。

5. 减震系统强化
机械稳定性与剥蚀重复性显著提升;运输结构同步优化,实现出厂性能与现场性能一致,保障"交付即用"。
