元素杂质含量测试
晶圆（碳化硅、氮化硅、氮化镓、石墨等）
5-10个工作日
像素点/个: -
单独LIBS或L4-ICP-TOF-MS成像，价格/元：-
LIBS-ICP-TOF-MS同时成像，价格/元:-
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半导体晶圆